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ASML系列 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái),采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。除了市場(chǎng)前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運(yùn)動(dòng)性能外,ASML氣浮轉(zhuǎn)...
ASP系列 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái),采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。除了市場(chǎng)前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運(yùn)動(dòng)性能外,ASP氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)還提...
RAB系列 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是高精度高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái),采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。除了市場(chǎng)前沿的軸向、徑向和傾斜誤差運(yùn)動(dòng)性能外,RAB系列...
ALP系列 氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)是高精度氣浮直驅(qū)轉(zhuǎn)臺(tái),采用旋轉(zhuǎn)電機(jī)直接驅(qū)動(dòng),具備非常優(yōu)秀的動(dòng)態(tài)性能和定位精度。除了可靠的軸向、徑向和傾斜誤差運(yùn)動(dòng)性能外,ALP轉(zhuǎn)臺(tái)還提供優(yōu)秀...
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